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Showerhead，應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路制程刻蝕設(shè)備中，在晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)，作為附加電壓的電極，還作為是刻蝕氣體進(jìn)入腔體的通路，是晶圓制造刻蝕環(huán)節(jié)所必需的核心部件。