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精密硅制品 - 托盤
又稱晶圓載盤，用于半導(dǎo)體CVD機(jī)臺(tái)中承托wafer，在高溫制程中有廣泛應(yīng)用。
技術(shù)優(yōu)勢(shì)

最小加工厚度達(dá)到1mm.純度高，可回收再利用。