1.可進(jìn)行硅舟結(jié)構(gòu)的定制化設(shè)計(jì)，包括溝棒形狀，溝齒長(zhǎng)度、形狀、傾斜角度，以及硅舟的總載片量。
2.高溫硅舟可以有效減少硅片的接觸損傷，提升制程良率。
3.熔接硅舟可以對(duì)損壞部件進(jìn)行更換，降低持有成本。
4.硅舟擁有較大的多晶硅沉積上限，可以有效減少設(shè)備PM頻率，提升產(chǎn)能。
