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應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路高溫和沉積設(shè)備中， 在晶圓高溫工藝和沉積工藝過程中，Si injector是將化學(xué)氣體輸入設(shè) 備內(nèi)部的關(guān)鍵部件，是晶圓高溫和沉積環(huán)節(jié)所必需的核心部件。